バイオセンサーの製造における適切な加熱のコツ
バイオセンサーを作成する際には、ポリマーを硬化させたり、ウェーハ上で試薬を動かしたりするために、正確な量の熱が必要です。しかし問題は、一般的な赤外線ランプではエネルギーの多くが無駄になってしまうことです。そのエネルギーの大部分はランプの本体に戻ってしまい、製品の製造には全く役立ちません。
私たちは、この無駄を防ぐ方法を見つけました。金でコーティングされた反射板を使うことで、そのエネルギーを正しい方向に向けるのです。
なぜ金なのか？
それは、金が赤外線を非常に効果的に反射するからです。反射板に精密な金の層を加えることで、通常は失われてしまう光子を捉えて、再びウェーハの方に送り返すのです。
これは単に環境保護や電気代を節約するためだけではありません。実際に、より多くの熱エネルギーを、より多くのワット数でウェーハに与えることができるのです。つまり、壁の電力設定を上げる必要がないのです。
「ホットスポット」の問題
この分野では、ホットスポットは大敵です。一箇所だけ熱が集中すると、生産効率が低下してしまいます。
そのため、私たちは反射板の曲率に細心の注意を払います。焦点が狭すぎると、ウェーハの中央部分が焼けてしまいます。逆に広すぎると、端の部分が未加熱のままになります。私たちはランプの焦点距離と金のコーティングを調整することで、熱がウェーハ全体に均等に当たるようにしています。これなら問題ありません。
欠点（どうしても存在するもの）
金の反射板は素晴らしいですが、少し気難しい一面もあります。コーティングに指紋や化学物質の汚れが付くと、ウェーハに「コールドスポット」ができてしまいます。ですから、光学部品を常に清潔に保つ必要があります。また、ウェーハに大量の熱が集中するため、基板ホルダーも十分な耐久性を持っていなければなりません。周囲を冷却しないまま高出力を使い続けると、取り付けブラケットが変形してしまう可能性があります。チassisの状態にも注意しましょう。そうすれば問題ありません。