CNTヒーターが爆発するのを防ぐ方法 カーボンナノチューブを育成するには、正確な温度勾配を保つことが不可欠です。私たちは、極端な高温に耐えられるようにヒーターを設計していますが、実際の問題は温度そのものではなく、電気的な絶縁性です。 絶縁体にわずかな漏れがあっただけで、コントローラーが壊れたり、ナ...

赤外線熱を利用しても、物を爆発させないための対処法 もし、揮発性の溶剤を使った化学洗浄プロセスを行っているなら、通常の赤外線ランプは単なるツールではなく、危険な存在です。ちょっとした火花やシールの漏れだけで、大惨事につながりかねません。 私たちは、加熱要素を特別に設計されたステンレス製のケースの中...

なぜ、あなたのバイオセンサーの処理速度が遅いのか（そして、どうすれば解決できるか） バイオセンサーを作る際には、適切な硬化や乾燥処理が非常に重要です。現在でも多くの旧式の装置では、熱風を利用しています。これは標準的な方法ですが、正直、効率が悪いです。 どのように機能するかというと、まず空気を加熱し...

化学的洗浄作業における金メッキ処理された赤外線ランプを使って安全を確保する 半導体のウェットプロセスで作業を行う際、加熱用のランプは、爆発や火災の危険がある蒸気のすぐ近くに設置されます。このような状況では、普通の石英管を使用すると問題が生じやすくなります。そのため、私たちは金メッキ処理された赤外線...

水素センサー用ヒーターの正しい取り扱い方法 水素センサーを製造する際には、温度制御を正確に行うことが最も重要です。もし化学的な処理が安定していなければ、作られたセンサーは全て無駄になってしまいます。私たちは、高温環境下でも問題なく動作するようなヒーターを製造していますが、実際に問題になるのは「電気...

適切な温度を維持すること：なぜ金製の反射器が重要なのか 半導体製造工場での加熱や焼成処理では、「十分に近い」というだけでは不十分です。正確な温度で処理を行う必要があります。多くの人々は普通の加熱素子を使いますが、問題点があります。それは、その加熱素子が熱をあちこちに放出してしまうことです。まるで窓...

空気を加熱するのをやめよう：スマートファブを構築するためのより良い方法 もしインダストリー4.0向けのスマートファブを構築しようとしているなら、従来のやり方——つまり、単に熱い空気を部屋中に送り込むだけの方法——ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。クリーンルームでは、空気中に浮遊する...

破片の発生を防ぐ：IRヒーターが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 大量の半導体を製造している方なら、その恐ろしい状況をご存知でしょう。グローブボックス内の石英ランプが壊れてしまうのです。 問題は単に停止時間が長くなることだけではありません。ガラスの破片や微粒子が直接ウェーハに降りかかってしま...

機械の壁を加熱するのはやめましょう ほとんどの赤外線ランプは、あらゆる方向に熱を放出します。つまり、360度全方位に熱が行き渡ってしまいます。ウェーハ処理装置では、これは問題です。エネルギーの大部分がウェーハに当たる代わりに、機器の内壁に集中してしまいます。 これは電力の無駄遣いです。さらに悪いこ...

ウェーハ加熱システムが爆発しないようにするために シリコンウェーハを加熱する際には、少しのミスでも大惨事につながります。わずかなアークや漏れ電流があっただけで、一括してウェーハが破壊され、制御ボードも破損してしまいます。本当に最悪です。 そのため、私たちは、各ランプ管を潜在的な災害源として捉えてい...

なぜ、私たちはランプの「目に見えない」部分にこだわるのか 私たちの工場から出荷されるすべてのランプ管は、電圧テストや絶縁テストを受けます。例外は一切ありません。 実際、高出力の産業用加熱装置では、わずかな絶縁不良でも大問題です。単にヒューズが切れるだけでは済まず、機械全体が接地状態になったり、最悪...

熱の無駄遣いをやめよう：なぜゴールド製の反射板が重要か シリコンウェーハを加熱するとき、1ワットというエネルギーも大切な資源です。多くの人々は標準的なアルミニウム製の反射板を使っていますが、問題は、アルミニウムが多くのエネルギーを吸収してしまうことです。つまり、必要な場所にエネルギーを送る代わりに...

ウェーハを加熱する代わりに、装置自体を加熱しないようにしましょう。 半導体製造工場では、間違ったものを加熱することは非効率的であり、危険でもあります。 もし一般的な放射型ヒーターを使用しているなら、その不便さはご存知でしょう。熱があちこちに散乱してしまいます。やがて、高価な機械の内壁がそのエネルギ...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もしあなたがクラス100の環境で作業しているなら、その厳しさはご存知でしょう。わずかなほこりやガスの漏れだけで、シリコンウェーハは台無しになってしまいます。まさに悪夢です。一般的なヒーターでは、こんな状況に対応できません。使用時に粒子が飛...

リンスエリアで使用するIRランプがフューズを焼き切らないようにするために 水と電気は相性が悪い。これは誰もが知っていることです。しかし、リンス工程でIRランプを使用するとき、まさにこの問題に直面することになります。湿気はどうしても内部に入り込もうとします。一度入ってしまうと、電流の漏れや短絡が起こ...

ゴールドコーティングされたツインチューブ型ランプを安全に使うために もしあなたがゴールドコーティングされたツインチューブ型ランプを使用しているなら、それがIR加熱において非常に効果的な装置であることはご存知でしょう。そのゴールドコーティングは単なる見栄えのためのものではありません。実際、そのコーテ...

IRランプが工場内で爆発を引き起こさないようにする方法 正直に言えば、化学洗浄エリアでIRヒーターを使用するのは、まるで火遊びのようなものです。そこには可燃性の蒸気や腐食性の化学物質が漂っており、装置もその真ん中にあるのです。半導体工場では、わずかな火花や石英ケースの微細なひび割れでさえ、単なる「...

工場内の二酸化炭素排出を削減するには：なぜUHP赤外線ランプが有効なのか 半製品を製造している方なら、カーボンニュートラルという目標を達成するための圧力がいかに大きいかご存知でしょう。それは単なる企業の義務ではなく、巨大なエネルギー問題でもあります。その廃棄物の多くは、熱処理工程に潜んでいます。...

機械自体を加熱するのではなく、ウェーハを直接加熱しましょう。 一般的な加熱素子は、エネルギーをあらゆる方向に放出します。狭い半導体製造施設では、これは大きな問題となります。無駄に発生した熱が装置の内壁に当たり、装置全体が巨大なラジエーターのようになってしまいます。これは非効率的であり、また、作業員...

半導体用ヒーターの配線が本当に耐久性を持っているかを確認する方法 半導体業界では、わずかなアーク発生だけで、一括して作られたウェーハ全てがダメになってしまいます。これは本当に恐ろしい状況です。そのため、私たちはこのようなヒーターにはテフロン（PTFE）コーティングされた配線を使用します。高温になっ...

なぜ、ホットエアを使ったウェーハ乾燥ではなく、IR乾燥を使うべきか MEMSの製造に従事している方なら、湿式エッチングや洗浄処理の後にウェーハを乾燥させるのがどれほど面倒かご存知でしょう。これは本当に大きなボトルネックです。私が訪れた工場のほとんどでは、依然としてホットエアを使っています。これは「...

なぜスマートセンサーの製造において、オーブンではなく赤外線を利用するのか？ 長年にわたり、半導体のパッケージングには巨大な対流式オーブンが使われてきました。しかし、状況は変わりつつあります。私たちは赤外線による硬化処理へと移行しています。その理由は、世界中で「無鉛化」や環境に優しいエネルギーの利用...

爆発性物質がある環境での安全性の確保 化学洗浄装置を使ってウェーハを加熱する際には、単なる熱源だけでは不十分です。安心感も必要です。 可燃性や爆発性のある溶剤を使用する場合、一般的な赤外線ランプは単なる道具ではなく、むしろリスクそのものです。そのため、私たちは専用のケースを用いてヒーターを製造して...

IRエネルギーを最大限に活用するために クリーンルームで作業を行う際、電力を無駄にするのは非効率的だけでなく、問題も多いです。シリコンウェーハを加熱するときには、「より多くの熱」が必要なだけではありません。そのエネルギーを正しい場所に届けることが重要です。 問題は、一般的なアルミニウム製の反射板は...

もう推測するのはやめましょう：なぜセラミック製のエンドキャップが重要なのか 「スマート」なファブを構築しようとすると、ハードウェアが時代遅れの状態にある限り、どんなに高性能なソフトウェアでも役に立たないことがすぐに分かります。ほとんどの場合、問題はヒーター自体ではなく、電力がエミッターに供給される...

揮発性化学物質の周辺でIRランプを安全に使用するために 正直言って、ファブ内でIRランプを使うのは不安なことです。可燃性や爆発性の化学物質の蒸気が漂っている状況では、単純にランプをそのまま使うのは危険すぎます。それは単なるリスクではなく、重大な問題です。 だからこそ、私たちは何も任せっぱなしにしま...

IR半導体ヒーターにおける適切な温度制御 もし、工場内の二酸化炭素排出量を削減したいと思っているなら、従来の抵抗式オーブンはエネルギーの無駄遣いだということに気づいているはずです。そんな時は、赤外線ヒーターを利用するのが最善です。しかし、問題は、単に熱源を変えるだけでは不十分だということです。急速...

真空式IR加熱と強制送風：実際に効果的なのはどちらか？ もし現在、半導体製造用の真空チャンバーを選んでいるのであれば、エネルギーをどのように伝達するかという問題に直面していることになります。 多くの人はまず熱風循環という方法を考えます。しかし、問題は、強制送風は対流に依存しているという点です。しか...

カーボンファイバー式の加熱装置を使えば、Fabをより効率的に使えるようになります。もし今でも古いタイプの抵抗加熱装置を使っているのであれば、不要な遅延や無駄なエネルギー消費が発生している可能性があります。そのため、多くの人々がカーボンファイバー式の赤外線ランプに切り替えています。このランプはカーボ...

オーブンを待っている時間を止めよう：なぜ赤外線加熱が最適なのか もし、依然として半導体の加工に強制送風方式を使用しているのであれば、実質的には半日を待つことに費やしていることになります。 強制送風方式の仕組みを考えてみましょう。空気を加熱し、その空気がチャンバーを温めます。そして運が良ければ、最終...

なぜスマートファブではオーブンの代わりに赤外線を使う必要があるのか？ インダストリー4.0向けのスマートファブを構築しているなら、従来の対流式オーブンが実際にはかなり問題だと気づいているはずです。クリーンルームでは、空気の流れ自体が敵となります。対流によってほこりや微粒子が舞い上がり、それが災害の...

私たちがこのアルミニウム製の反射型赤外線ランプを開発したのは、停止時間を許されない場所や、安全性を犠牲にしてはいけない場所のためです。重要なのは、必要な場所に、必要なタイミングで、正確に熱を供給することです。 高出力の赤外線エミッターと、精密に加工されたアルミニウム製の反射器を組み合わせることで、...

高効率な金コーティング済み赤外線ランプ：バイオセンサーワークのための最適な加熱手段 バイオセンサーを製造する際、加熱は単なる工程の一環に過ぎません。それは、優れたワークと無駄になってしまうワークとの違いを生む要素です。 そこで、私たちは、加熱を単なる道具ではなく、精密なツールとして扱えるような赤外...

真空対応型赤外線ヒーター：半導体部品を簡単に交換できる真のソリューション 率直に言ってしまえば、私たちがこの真空対応型赤外線ヒーターを開発したのは、輸入される半導体部品の高価さや長い待ち時間という問題を解決するためです。 おそらく、国内製の装置でも本当に同じように機能するのか疑問に思っていることで...

はじめに 私たちは、半導体のパッケージングやテスト工程で使用される赤外線ヒーターを製造しています。これらはごく普通のヒーターではありません。安定した稼働と再現性が重要となる後工程向けに特別に設計されているのです。 「ファウンドリ対応」の製品を選べば、日々厳しい状況下でも故障せずに稼働し続けることが...

はじめに 私たちは、半導体製造工場内で、アメリカや日本の有名メーカーの製品と競えるような、高品質なRTPランプを開発しました。目指したのは、同等の品質と再現性を実現しつつ、長期的に見てコストを抑えることです。つまり、高速での作業が行われても、余計な費用をかけずに安定した性能を得られるのです。 技術...

300mmラインでは、ベイク工程においてわずか0.5度の余地も許されません。フォトレジストのベイク中に0.5℃の温度変動があれば、重要な寸法が変わってしまい、結果として製品が廃棄されてしまいます。Axcelis社のヒーター素子は、プロセスの範囲内で熱をコントロールするように設計されています。つまり...

製造現場では、フォトレジストの焼成温度が0.5℃変動するだけで、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまうことをすぐに理解できます。ウェーハのIR加熱装置は、一回ずつ同じような熱処理を実現しなければならず、プロセス中に粒子が発生したり、稼働時間が損なわれたりしてはいけません。 重要なのは何か？...

製造現場では、バーンイン処理やフォトレジストの加熱処理中に生じる温度変動は、すぐに現れます。それによりライン幅が不安定になったり、歩留まりが低下したりします。ソフトベイクやハードベイクのプロファイルが乱れると、エッチング後に残留物が残り、パラメトリックな故障が増えてしまいます。私たちは、このような...

製造現場では、問題が発生する前には気づきにくいことがあります。乾燥時の温度均一性にわずかなばらつきがあるだけで、エネルギー消費量やスクラップの発生が増えてしまいます。ソフトベイクやクリーニング後の乾燥では、数度単位の精度が求められます。たとえわずかな熱点があっても、それがパターン上の欠陥として現れ...

リソグラフィー工程において、ソフトベイクやハードベイクの温度が1℃変動するだけでも、線幅に影響を与えます。また、CDの制御を乱し、サイドウォールの角度も変わり、最終的には歩留まりにも悪影響を及ぼします。ベイク用ランプは、クリーンルーム内での温度管理を行うための重要な要素です。 技術的に重要なのは、...

製造現場では、ご存知の通り、フォトレジストを加熱する際にわずか0.5度でもずれが生じると、重要な寸法が規格を外してしまい、大量の製品が廃棄されてしまいます。熱の均一性や化学的純度というのは、単なる数値に過ぎず、それが品質を左右する要因なのです。 実際に重要なのは何か 私たちは、オゾンを含まない赤外...

製造現場において、温度の変動は許容されるものではなく、厳しく制御されなければなりません。たとえわずか1度の温度変動があっても、フォトレジストの特性が崩れてしまいます。また、CSPスタックの硬化が不均一だと、ウェーハに歪みが生じ、歩留まりも低下してしまいます。ウェーハレベルのCSPを利用するには、温...

リソグラフィーの工程において、焼成温度が0.5℃変動するだけで、線幅はナノメートル単位で変わってしまいます。それにより、何時間もかけて行った作業が無駄になってしまいます。私たちは、このような温度変動を未然に防ぐために、調光可能な半導体ヒーターランプを開発しました。これにより、熱制御を再現性のあるプ...

ファブリックフロアでは、ウェーハ乾燥温度のドリフトはフォトレジストのプロファイルにすぐ現れます。現像後のT字トップ現象や、エッチング後のライン幅制御のずれとして確認できます。熱ドリフトを排除するために、低コストの乾燥ランプバルブを開発しました。 技術的に重要な点 このバルブは短波赤外線を利用し、サ...

ファブフロアでは、アッシングをブラックボックスとして扱うことはできません。ストリッピング後に残留するフォトレジストは歩留まりを減少させ、熱プロファイルが安定していなければロット全体をダメにする可能性があります。設計された加熱を用いた赤外線アッシングは、毎回再現可能な熱バジェットを提供します。 技術...

ファブフロアでは、予期しないダウンタイムに死後検証は不要です—失われたウエハやわずかに逃したスペックウィンドウでそれがわかります。PVDチャンバーのランプが故障すると、ランの全体的な熱バジェットが赤信号になります。このPVDランプはそのような事態を避けるために設計されており、手を抜くことなく24時...

ファブフロアにおけるポリイミド硬化は単なる工程の一つではなく、歩留まりを左右する要因である。温度を1.5℃ずらすだけで応力が変化し、ウェーハが反り、数時間分のリソグラフィ工程が無駄になる。そこで、ベークプロファイルを常に規定範囲内に維持できる熱プラットフォームを構築した。 技術的に重要なポイント...

ライン上では、熱変動は抽象的な指標ではなく、不良が発生する原因そのものである。フォトレジストのソフトベイク中に2°Cの温度変化があれば、重要寸法制御がずれ、ウェーハ乾燥時の不十分な熱プロファイルはエッジビードや粒子汚染を招く。これらの不確定要素を排除するために、当社はスピンコーター用ベイクランプを...

fabフロアではご存知の通り、ソフトベイクでわずか2度のズレが生じるだけで重要寸法が狂い、多量のスクラップが発生することがあります。ウェハ全体の温度均一性は「あったら良い」ものではなく、厳格な要件です。TELヒーターランプはリソグラフィセルに必要な熱制御をサイクル毎に提供します。 内部で重要なポイ...

フレキシブルディスプレイラインにおいて、フォトレジストのベークは単なる背景工程ではなく、歩留まりのゲートである。 ソフトベークまたはハードベークで1℃のズレが生じると、クリティカルディメンションがシフトし、スカミングが発生する。乾燥ランプは別の変動要因になってはならず、熱的に一定である必要がある。...